Tesla Sensors
Již tradiční součástí nabídky produktů společnosti TESLA BLATNÁ a.s. jsou senzory a senzorové platformy vyráběné tenkovrstvou technologií, na jejichž návrhu a vývoji dlouhodobě spolupracujeme v řadě projektů s předními českými univerzitami a vědeckými pracovišti. Výroba těchto senzorů a senzorových platforem probíhá v plně vybaveném zázemí vlastních čistých prostor. Nosným produktem portfolia společnosti v této oblasti jsou platinové teplotní senzory, které doplňuje nabídka jednotlivých unikátních senzorových platforem. Teplotní senzory z naší produkce nacházejí využití nejen v širokém spektru průmyslových aplikací, ale i ve vědě a výzkumu. Senzorové platformy se uplatňují jako základ konstrukce širokého spektra senzorů, zejména senzorů plynů a nebezpečných látek. Uplatnění nacházejí jak ve výrobě, tak vývoji nových senzorů. Na základě individuálního přístupu k zákazníkům umíme navrhnout a vyrobit senzorové platformy dle konkrétních požadavků.
KONSTRUKCE
Základním konstrukčním prvkem senzorů a senzorových platforem je keramický substrát z Al2O3 . Technologií naprašování tenkých kovových vrstev, fotolitografií, mokrého a suchého leptání jsme schopni realizovat různé odporové a elektrodové struktury. Základní konstrukční části představíme na platinovém teplotním senzoru:
Fixační dielektrická vrstva
Zelená fixační a dielektrická vrstva
Platinová odporová tenká vrstva
Keramický substrát Al2O3
Přivařené drátové vývody o průměru 0,25 mm
TEPLOTNÍ SENZORY
Vyrábíme platinové teplotní senzory (odporové senzory teploty) pro průmyslové a vědecké využití. Teplotní senzory jsou konstruovány jako tenkovrstvé odporové senzory na keramickém substrátu. Tato konstrukce má řadu výhod oproti klasickým senzorům z navinutého platinového drátu. Konstrukce tenkovrstvého senzoru je jednodušší, má větší mechanickou odolnost a nabízí větší variabilitu v použití. Platina má pro účely odporového teplotního senzoru výborné fyzikální parametry, použitelný teplotní rozsah je od -200 °C až do 1000 °C. Vyráběné platinové senzory mají teplotní koeficient (TKR) 3850 ppm/K a odpovídají normě ČSN EN 60 751. Základní nominální hodnoty vyráběných teplotních senzorů jsou 100 a 1000 Ω.
PT1K / Specifikace
Platinový odporový teplotní senzor na keramickém substrátu s nominální hodnotou 1000 Ω při 0 ˚C. Na senzor jsou přivařeny přívody ze stříbrného drátu. Teplotní senzory PT1K jsou dostupné v třídách přesnosti dle odpovídající normy ČSN EN 60 751.
Nominální hodnota Ω (při 0 °C): 1000
Teplotní rozsah: -200 °C ... +400 °C
Teplotní koeficient: 3850 ppm/K
Přívody: Ag drát ⌀ 0,25 mm
Třída přesnosti:
A - ČSN EN 60751 F0.15
B - ČSN EN 60751 F0.3
C - ČSN EN 60751 F0.6
Datasheet
PT100 / Specifikace
Platinový odporový teplotní senzor na keramickém substrátu s nominální hodnotou 100 Ω při 0 ˚C. Na senzor jsou přivařeny přívody ze stříbrného drátu. Teplotní senzory PT100 jsou dostupné v třídách přesnosti dle odpovídající normy ČSN EN 60 751.
Nominální hodnota Ω (při 0 °C): 100
Teplotní rozsah: -200 °C ... +400 °C
Teplotní koeficient: 3850 ppm/K
Přívody: Ag drát ⌀ 0,25 mm
Třída přesnosti:
A - ČSN EN 60751 F0.15
B - ČSN EN 60751 F0.3
C - ČSN EN 60751 F0.6
Datasheet
ZÁKAZNICKÉ ŘEŠENÍ
Mimo základní nabídku teplotních senzorů vyrábíme i jejich modifikace vycházející z požadavků zákazníků. Na zakázku vyrobíme teplotní senzory s různou ohmickou hodnotou odporu, různými rozměry a různými přívodními vodiči. Nejčastěji požadovanou modifikací jsou odlišné rozměry a hodnota odporu např. 500 Ω.
SENZOROVÉ PLATFORMY
Na základě dlouhodobé spolupráce s vědeckými pracovišti a požadavků vycházejících z průmyslových aplikací jsme vyvinuli a zařadili do nabídky řadu senzorových platforem. Tyto senzorové platformy nacházejí široké využití nejen v konstrukci průmyslových senzorů, ale také v rámci vědy a výzkumu. Jde zejména o platformy využitelné pro vlhkostní čidla či detekci nebezpečných látek a plynů. Vyrábíme zejména platinové a zlaté tenkovrstvé senzorové platformy nejen na keramických substrátech, ale také křemíkových, nebo jiných monokrystalických substrátech, či různých druzích skel. Podle požadavků zákazníků navrhneme topologii senzorové platformy s požadovanými parametry.
KBI2 / Specifikace
Platforma KBI2 je multisenzorová struktura, která se skládá z teplotního senzoru Pt1K, vyhřívacího elementu a interdigitální elektrodové struktury. Všechny elementy jsou tvořeny tenkou vrstvou platiny na keramickém substrátu. Vyhřívací element a teplotní senzor jsou chráněny tenkou krycí izolační vrstvou. Citlivé vrstvy mohou být deponovány na nepasivovanou interdigitální strukturu metodou sítotisku, spin-coatingu, drop-coatingu atd.
Nominální hodnota Ω (při 0 °C): 1000
Teplotní rozsah: -30 °C ... +350 °C
Teplotní koeficient: 3850 ppm/K
Přívody: Ag drát ⌀ 0,25 mm
IDE elektrody - Šířka mezera/čára (μ): 15/15
Odpor vyhřívacího elementu (Ω): 8 ± 1,5
Třída přesnosti: ČSN EN 60751 F0.6
Datasheet
KBS4 / Specifikace
KBS4 je oboustranná senzorová platforma, která se skládá z platinových elektrod interdigitální struktury na lícové straně keramického substrátu a z platinového vyhřívacího elementu na rubové straně keramického substrátu. Rovnoměrným pokrytím plochy platformy vyhřívacím elementem je zajištěno homogenní teplotní pole na povrchu platformy. Jednotlivé struktury platformy jsou tvořeny tenkou platinovou vrstvou. Přívodní vodiče jsou k platformě kontaktovány na lícové straně na protilehlých hranách. Vodivý kontakt s topným elementem na rubové straně platformy je zajištěn prokovením platinou skrz otvory v keramickém substrátu. Vyhřívací element je chráněn krycí izolační vrstvou. Citlivé vrstvy mohou být deponovány do prostoru nepasivované interdigitální struktury různými metodami (sítotiskem, spin-coatingem, drop-coatingem, …)
Přívody: Ag drát ⌀ 100 μm
IDE elektrody - Šířka mezera/čára (μ): 40/40
Odpor vyhřívacího elementu (Ω): 15 ± 1,5
Rozměr platformy (mm): 2,2 x 2,2
Tloušťka substrátu (μm): 380
Datasheet
BI2 / Specifikace
Na keramickém substrátu jsou naneseny zlaté interdigitální elektrody, na které mohou být aplikovány senzitivní vrstvy tlustovrstvou, nebo tenkovrstvou technologií. Systém elektrod umožňuje použití nejrůznějších citlivých vrstev. Topologii interdigitálních elektrod je možné modifikovat podle konkrétní zákaznické specifikace.
Teplotní rozsah: -30 °C ... +350 °C
IDE elektrody - Šířka mezera/čára (μ): 15/15
Izolační odpor IDE elektrod: min. 1GΩ při 34% RH a 20VDC
Struktura vrstvy: NiCr / Ni / Au
Datasheet
ZÁKAZNICKÉ ŘEŠENÍ
Senzorové platformy vyrábíme i v modifikacích vycházejících z požadavků jednotlivých zákazníků. Elektrodové struktury deponujeme na různé typy substrátů, nejčastěji kromě keramiky realizujeme struktury na křemíkových a skleněných substrátech. Umíme navrhnout různé uspořádání interdigitálních elektrod i vyhřívacího elementu.
SENZORY
Základem senzorů jsou senzorové platformy, na které je deponována senzitivní vrstva. Jedním z finálních produktů je vlhkostní senzor. Na vývoji senzorů spolupracujeme s významnými akademickými pracovišti v ČR. Naší koncepcí je vyvinout a nabízet senzory detekující různé plynné látky. Ve vývojové fázi máme senzory CH4, NH3, O3 a řadu dalších.
BI2H / Specifikace
Vlhkostní senzor BI2H je polovodičový senzor určený pro měření relativní vlhkosti. Fyzikální princip měření je založen na vlastnostech organického polovodiče, který vlivem vlhkosti mění svou impedanci. Měnící se impedanci sensitivní vrstvy vlivem vlhkosti lze již snadno elektronicky vyhodnocovat.
Měřící rozsah: 20 - 90 %RH
Teplotní rozsah: 0 °C ... 60 °C
Přívody: Ag drát ⌀ 0,25 mm
Datasheet
ZÁKAZNICKÉ ŘEŠENÍ
Naše vývojové a výrobní kapacity nabízíme i pro realizaci finálních senzorů. V této oblasti realizujeme různá vodivostní čidla, senzory využívající naše topné elementy, elektrochemické senzory atd.
INFORMACE
Oddělení tenkých vrstev má ve společnosti TESLA BLATNÁ a.s. dlouhou historii a navazuje na konstrukci planárních mikrovlnných struktur. Dnes se výrobní a vývojový program přeorientoval na senzorové platformy a senzory na těchto strukturách. V rámci rozvoje společnosti spolupracujeme s řadou renomovaných univerzit a vědeckých ústavů.
PROJEKTY
TESLA BLATNÁ a.s. se neustále snaží o dynamický růst a investuje do vědy a výzkumu. Od roku 2006 aktivně spolupracujeme s akademickou sférou v ČR i zahraničí. Účastníme se řady projektů spolufinancovaných z programů Ministerstva průmyslu a obchodu, Ministerstva školství, mládeže a tělovýchovy, Ministerstva vnitra a Technologická agentury ČR.
ZÁKAZNICKÉ ŘEŠENÍ
Naše technologické zázemí umožňuje vyrábět planární struktury na zakázku dle specifikace zákazníka. Může se jednat o různá provedení teplotních senzorů nebo různé elektrodové systémy. Kontaktujte nás.
TECHNOLOGIE
Zázemí tenkých vrstev disponuje depozičními aparaturami, fotolitografií, zázemím pro suché i mokré leptání, plynovým hospodářstvím pro práci se senzory plynů atd. Technologii lze kombinovat s ostatními odděleními společnosti a nabídnout tak komplexní řešení.
SMART CITY
V rámci vývoje jsme zkonstruovali modul, který slouží k monitorování environmentálních podmínek v městské zástavbě. Tento produkt vznikl na základě vývojových projektů zaměřených především na detekci různých plynů.
ENVIRONMENTÁLNÍ MODUL
Modul je určen k měření environmentálních podmínek v městské zástavbě. Zařízení je sestaveno z 10 nezávislých senzorů, které měří kvalitu vzduchu, teplotu, vlhkost, tlak, světlo, hluk a prachové částice. V ovzduší se měří koncentrace oxidu uhelnatého, oxidu siřičitého, ozonu a oxidu dusičitého. Druhy plynů jsou zvoleny podle zákona č. 201/2012 Sb. - zákon o ochraně ovzduší, ve kterém jsou uvedeny limity koncentrací daných plynů. Soubor detekovaných plynů je variabilní v rozsahu dostupných senzorových elementů kompatibilních s využívanou elektronikou.
Datasheet
Ke stažení
| Název souboru | Datum | Velikost | |
|---|---|---|---|
| Produktový list teplotní senzor Pt1K | 14.4.2023 | 322 kB | Download |
| Produktový list teplotní senzor Pt100 | 14.4.2023 | 317 kB | Download |
| Produktový list senzorová platforma KBI2 | 14.4.2023 | 159 kB | Download |
| Produktový list senzorová platforma BI2 | 14.4.2023 | 135 kB | Download |
| Produktový list senzor BI2H | 14.4.2023 | 426 kB | Download |
| Produktový list Enviromentální modul | 14.4.2023 | 652 kB | Download |
| Produktový list senzorová platforma KBS4 | 20.4.2023 | 135 kB | Download |
